潔凈度5級 cleanliness class 5

  環(huán)境空氣中大于等于0.5um的微粒數大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L)；大于等于5um的微粒數為0粒/L的空氣潔凈程度。相當于原100級。

潔凈度6級 cleanliness class 6

  環(huán)境空氣中大于等于0.5um的微粒數大于3500粒/m3(3.5粒/L）到小于等于35200粒/m3（35.2粒/L)；大于等于5um的微粒數小于等于293粒/m3（0.3粒/L）的空氣潔凈程度。相當于1000級。

潔凈度7級 cleanliness class 7

  環(huán)境空氣中大于等于0.5um的微粒數大于35200粒/m3(35.2粒/L）到小于等于352000粒/m3（352粒/L)；大于等于5um的微粒數小于等于293粒/m3（0.3粒/L）到小于等于2930粒/m3(3粒/L)的空氣潔凈程度。相當于10000級。

潔凈度8級 cleanliness class 8

   環(huán)境空氣中大于等于0.5um的微粒數大于352000粒/m3(352粒/L）到小于等于3520000粒/m3（3520粒/L)；大于等于5um的微粒數小于等于2930粒/m3（3粒/L）到小于等于29300粒/m3(29粒/L)的空氣潔凈程度。相當于100000級。

潔凈度8.5級 cleanliness class 8.5

     環(huán)境空氣中大于等于0.5um的微粒數大于3520000粒/m3(3520粒/L）到小于等于11120000粒/m3（11120粒/L)；大于等于5um的微粒數小于等于29300粒/m3（29粒/L）到小于等于92500粒/m3(93粒/L)的空氣潔凈程度。相當于30萬(wàn)級。